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真空镀膜机常见的故障和维修办法

发布时间:2017-07-06
当真空镀膜机出现故障后应首先要向使用者了解故障的现象,之后要亲自开机观察故障,这样才能更准确、更快、更合理的排除故障。
 
    当真空镀膜机排除故障应先检测低真空是否正常(机械泵、罗茨泵、管道、下室、蒸发室),低真空正常后再开主泵,主泵正常后检测下室真空中是否正常,下室真空正常再开高阀进行高真空检测检漏,直至达到真空,极限真空、保真空、恢复真空,如极限真空和保真空正常,而恢复真空和真空不正常则可能主泵有问题。
 
以下列举真空镀膜机常见故障及维修方法:
 
 一、当正在镀膜时真空度突然下降
 
1、蒸发源水路胶圈损环(更换胶圈)
 
2、坩埚被打穿(更换坩埚)
 
3、高压电极密封处被击穿(更换胶圈)
 
4、工转动密封处胶圈损坏(更换胶圈)
 
5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀)
 
6、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀)
 
7、机械泵停机可能是继电器断开(检查继电器是否正常)
 
8、烘烤引入线电极密封处被击穿(更换胶圈)
 
9、挡板动密封处胶圈损坏(更换胶圈)
 
10、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂(更换玻璃)
 
二、长期的镀膜机抽真空的时间很长且达不到真空、恢复真空、极限真空、保真空:
 
1、蒸发室有很多粉尘(应清冼)
 
2、扩散泵很久未换油(应清冼换油)
 
3、前级泵反压强太大机械泵真空度太低(应清冼换油)
 
4、各动密封胶圈损坏(更换胶圈)
 
5、由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化(更换胶圈)
 
6、蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏(更换胶圈)
 
7、各引入座螺钉、螺母有无松动现象(重新压紧)
 
8、高低预阀是否密封可靠(注油)
 
常见的真空镀膜机维修办法就先分享到这里了。
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