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真空镀膜机故障的相应处理方法

发布时间:2017-08-07
真空镀膜机把握了毛病的原因,就很简单知道处理办法了。下面信辉源科技为我们共享下它的常见毛病以及处理方式办法:
 
当镀膜机呈现毛病后应首先要向使用者了解毛病的现象,之后要亲身开机调查毛病,这样才干更精确、更快、更合理的排除毛病。
 
排除毛病应先检测低真空是否正常(机械泵、罗茨泵、管道、下室、蒸腾室),低真空正常后再开主泵,主泵作业正常后检测下室真空中是否正常,下室真空正常再 开高阀进行高真空检测检漏,直至到达作业真空,极限真空、保真空、康复真空,如极限真空和保真空正常,而康复真空和作业真空不正常则可能主泵有问题。
 
以下罗列常见毛病及修理办法:
 
一、当正在镀膜时真空度俄然下降
 
1、蒸腾源水路胶圈损环(替换胶圈)
 
2、坩埚被打穿(替换坩埚)
 
3、高压电极密封处被击穿(替换胶圈)
 
4、工滚动密封处胶圈损坏(替换胶圈)
 
5、预阀俄然封闭可能是二位五通阀损坏(替换二位五通阀)
 
6、高阀俄然封闭可能是二位五通阀损坏(替换二位五通阀)
 
7、机械泵停机可能是继电器断开(查看继电器是否作业正常)
 
8、烘烤引进线电极密封处被击穿(替换胶圈)
 
9、挡板动密封处胶圈损坏(替换胶圈)
 
10、玻璃调查视镜呈现裂纹、迸裂(替换玻璃)
 
11.分散泵部分不加热。(替换分散泵电磁加热器)
 
之前分散泵都是使用电炉盘加热的,因为本身发热再把热量传递到泵底,这样长时刻处于高温就寿命短,简单烧坏。现在新式的电磁加热器加热分散泵泵底,电磁线盘直接产生磁场使泵底发热,使用寿命至少10年以上,加热功率也提高1/3,还省电环保,我们能够试试。
 
二、长时刻作业的镀膜机抽真空的时刻很长且达不到作业真空、康复真空、极限真空、保真空:
 
1、蒸腾室有许多粉尘(应清冼)
 
2、分散泵好久未换油(应清冼换油)
 
3、前级泵反压强太大机械泵真空度太低(应清冼换油)
 
4、各动密封胶圈损坏(替换胶圈)
 
5、因为蒸腾室长时刻温度过高使其各密封胶圈老化(替换胶圈)
 
6、蒸腾室各引进水路密封处是否有胶圈损坏(替换胶圈)
 
7、各引进座螺钉、螺母有无松动现象(从头压紧)
 
8、凹凸预阀是否密封可靠
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